フォトレジスト用ヨウ化ガリウムランプ

床面上にある、UVランプの暗くなった部分は、単なる見た目上の問題ではありません。それは何かがおかしいというサインです。毎回の起動時や早期停止時に電極が消耗されてしまい、バラストの調整が不十分だとスペクトル出力が乱れます。その結果、365nmの出力が安定しなくなり、フォトレジストの耐量も変わってしま...