床面上にある、UVランプの暗くなった部分は、単なる見た目上の問題ではありません。それは何かがおかしいというサインです。毎回の起動時や早期停止時に電極が消耗されてしまい、バラストの調整が不十分だとスペクトル出力が乱れます。その結果、365nmの出力が安定しなくなり、フォトレジストの耐量も変わってしまい、最終的には歩留まりも低下してしまいます。
実際に重要なのは、基板に与えられるエネルギー量であり、ラベルに記載されているワット数ではありません。私たちは、狭くて純粋な365nm帯域で動作するガリウムヨウ化物ランプを使用しています。これは、ほとんどのフォトレジストの光開始剤が作用したい波長です。基板表面でのピーク照度は1200 mW/cm²以上を維持し、ランプの寿命全体を通じて照射量の再現性は±3％以内に保たれます。石英製のアーク管や二色反射板によって、赤外線や不要なUV光が抑制されるため、熱も少なく、スペクトル分布も安定します。実際には、これにより架橋速度が速くなり、露光時間も短縮され、プロセスの安定性が向上します。
また、フォトレジスト露光工程でこのランプが効果的な理由は、ランプの点灯・消灯を繰り返したり、点火時のスパイクを緩和できないインダクティブバラストを使用した場合、ランプの端が急速に黒ずんでしまうからです。私たちは、制御されたウォームアップを行い、電流の急増を抑えるバラストをランプに組み合わせています。そうすることで、電極が正常に機能し続けます。その結果、ランプの交換回数が減り、硬化速度も安定し、処理される単位あたりのエネルギーも少なくて済みます。
実際の現場では、ガリウムヨウ化物ランプは、365nmの出力を安定させるために適切な点火電圧と安定した電源供給が必要です。これらは、従来の水銀ランプとそのまま置き換えることはできません。反射板の形状や冷却風の流れ、シャッターのタイミングなども、アークの長さや温度特性に合わせて調整する必要があります。移行する前に、バラストの互換性や反射板の焦点距離を確認してください。もしそれらが適切でなければ、再びランプの端が黒ずんでしまいます。