http://smart-uv-lamp.com/ja/tags/%E3%83%95%E3%82%A9%E3%83%88%E3%83%AC%E3%82%B8%E3%82%B9%E3%83%88/ Recent content in フォトレジスト on Smart UV Lamp Hugo ja Sun, 21 Jun 2026 09:42:40 +0800 http://smart-uv-lamp.com/ja/posts/gallium-iodide-lamp-for-photoresist/ Sun, 21 Jun 2026 09:42:40 +0800 http://smart-uv-lamp.com/ja/posts/gallium-iodide-lamp-for-photoresist/ <p><img src="http://smart-uv-lamp.com/images/1dd7856afed9d1a9a2f49fb2a00ef960.png" alt="フォトレジスト用ヨウ化ガリウムランプ"></p> <p>床面上にある、UVランプの暗くなった部分は、単なる見た目上の問題ではありません。それは何かがおかしいというサインです。毎回の起動時や<a href="https://goldisgood.com">早期停止時</a>に電極が消耗されてしまい、バラストの調整が不十分だとスペクトル出力が乱れます。その結果、365nmの出力が安定しなくなり、フォトレジストの耐量も変わってしまい、最終的には歩留まりも低下してしまいます。</p> <p>実際に重要なのは、基板に与えられるエネルギー量であり、ラベルに記載されているワット数ではありません。私たちは、狭くて純粋な365nm帯域で<a href="https://o-yate.net">動作</a>するガリウムヨウ化物ランプを使用しています。これは、ほとんどのフォトレジストの光開始剤が作用したい波長です。基板表面でのピーク照度は1200 mW/cm²以上を維持し、ランプの寿命全体を通じて照射量の再現性は±3％以内に保たれます。石英製のアーク管や二色反射板によって、赤外線や不要なUV光が抑制されるため、熱も少なく、スペクトル分布も安定します。実際には、これにより架橋速度が速くなり、露光時間も短縮され、プロセスの安定性が向上します。</p>