Trên dây chuyền sản xuất, đồng hồ đo thời gian cắt wafer hoạt động theo giây, chứ không phải phút. Việc sử dụng keo dính loại UV có vai trò quan trọng: nếu sử dụng quá nhiều keo, chất kết dính sẽ còn sót lại trên bề mặt wafer; ngược lại, nếu sử dụng quá ít keo, các mảnh wafer sẽ rơi ra khỏi bề mặt wafer. Điều cần thiết là phải có nguồn ánh sáng UV có khả năng tạo ra cường độ năng lượng ổn định từ chu kỳ này sang chu kỳ khác.
Những yếu tố kỹ thuật quan trọng Các loại băng keo dùng trong ngành bán dẫn phụ thuộc vào các chất khởi động quang học được điều chỉnh để phản ứng với các bước sóng UV cụ thể, thường là 365 nm và 385 nm. Chúng ta sử dụng các bóng đèn phát ánh sáng có bước sóng hẹp, kết hợp với các bộ phản xạ ánh sáng để ngăn không cho ánh sáng hồng ngoại lan truyền vào bề mặt wafer. Cường độ ánh sáng tại bề mặt wafer có thể lên tới 2,5 W/cm², tức là lượng năng lượng cần thiết để kết dính wafer có thể lên tới hơn 2.000 mJ/cm² trong vòng chưa đầy 10 giây. Hiệu suất hoạt động của bóng đèn vẫn ổn định trong vòng 3.000 giờ, và bóng đèn cũng không tạo ra khí ozon nhờ vào lớp vỏ bằng thạch anh có khả năng truyền ánh sáng UV tốt.
Tại sao phương pháp này hiệu quả trong thực tế Các loại băng keo dùng trong quy trình cắt wafer được thiết kế để tạo ra phản ứng kết dính nhanh chóng. Khi bước sóng ánh sáng từ bóng đèn phù hợp với bước sóng hấp thụ của chất khởi động quang học, bề mặt wafer sẽ được kết dính ngay lập tức, trong khi lớp keo dính vẫn giữ nguyên trạng thái ban đầu. Nhờ đó, băng keo có thể được gỡ ra một cách dễ dàng, mà không làm hỏng bề mặt wafer. Kết quả là tốc độ sản xuất được nâng cao: thời gian xử lý giảm từ 30 giây xuống dưới 10 giây, đồng thời không gây ra áp lực nhiệt lên các cấu trúc mỏng. Bạn sẽ có lực tách băng keo ổn định, ít sản phẩm bị hỏng hơn, và việc thay thế bóng đèn cũng diễn ra đúng lúc theo kế hoạch bảo trì.
Những chi tiết cần lưu ý Việc căn chỉnh bóng đèn phải chính xác tuyệt đối. Ngay cả 2 mm sai lệch về vị trí cũng có thể làm giảm mạnh cường độ ánh sáng. Nên lắp đặt máy đo cường độ ánh sáng ngay trên dây chuyền sản xuất để đo lượng ánh sáng tác động lên bề mặt wafer, chứ không chỉ đo công suất của bóng đèn.
Bóng đèn hoạt động với mức nhiệt thấp, nhưng vẫn cần có hệ thống làm mát để duy trì nhiệt độ ổn định của bộ phản xạ ánh sáng. Nếu không, độ ổn định của bước sóng ánh sáng sẽ bị ảnh hưởng, và tuổi thọ của bộ phản xạ ánh sáng cũng sẽ giảm. Nên sử dụng hệ thống điều khiển 24 V, và kiểm tra kỹ tính tương thích của các đầu nối với thiết bị xử lý.