На поверхні підлоги ті темні ділянки на кінцях лампи УФ – це не просто естетичний ефект. Це ознака проблеми. Кожен розпочаток роботи лампи та її прежче вимкнення пошкоджують електроди. Якщо баласт не налаштований правильно, спектральний вихід лампи змінюється. Наслідки цього очевидні: значення 365 нм змінюється, толерантність фоторезисту до дози зростає, а якість обробки погіршується.
Справді важливим є кількість енергії, яка надходить на поверхню матеріалу, а не потужність, вказана на етикетці. Ми використовуємо лампи на основі галію йодиду, налаштовані на чіткий спектр світла 365 нм – саме в цьому діапазоні працюють фотоініціатори фоторезисту. Максимальна інтенсивність освітлення на поверхні матеріалу становить ≥1200 мВт/см², а точність дозування залишається в межах ±3% протягом усього терміну служби лампи. Кварцова трубка та дихроїчний відбивач стримують інфрачервоне та зайве УФ-випромінювання, тож температура залишається низькою, а спектральний склад світла – стабільним. Наслідком цього є швидше зв’язування молекул фоторезисту, скорочення часу обробки та стабільність процесу.
Лампи на основі галію Йодиду потребують правильної напруги для запуску та стабільного живлення, щоб зберегти стабільність спектру світла 365 нм. Їх не можна просто замінити на традиційні лампи на основі ртуті – геометрія відбивача, система охолодження та час відкриття затвора повинні відповідати довжині дуги та тепловому профілю лампи. Перед заміною необхідно переконатися у сумісності баласта та фокусної відстані відбивача. Якщо це не буде дотримано, проблема з темнінням кінців лампи знову з’явиться.