Di lantai pengeluaran yang canggih ini, jam yang digunakan untuk mengira masa selepas proses pemotongan wafer menunjukkan masa dalam saat, bukan minit. Proses pembebasan pita pelekat menggunakan cahaya UV memerlukan kawalan yang tepat agar hasilnya baik. Jika cahaya UV terlalu kuat, ia akan meninggalkan sisa pelekat pada permukaan wafer; sebaliknya, jika cahaya UV terlalu lemah, wafer akan mudah terpecah. Yang diperlukan ialah sumber cahaya UV yang mampu menghasilkan intensiti cahaya dan kepadatan tenaga yang konsisten, dari satu kitaran ke kitaran seterusnya.
Apa yang benar-benar penting secara teknikal
Pita pengikat semikonduktor bergantung pada bahan fotoinisator yang disesuaikan dengan panjang gelombang UV tertentu, biasanya 365 nm dan 385 nm. Kami menggunakan lampu yang menghasilkan cahaya berpanjang gelombang sempit, dengan bantuan reflektor dikroik untuk mengelakkan haba daripada masuk ke dalam wafer. Intensiti cahaya pada permukaan substrat boleh mencapai 2.5 W/cm², yang memberikan tenaga yang cukup untuk proses pengeringan dalam masa kurang dari 10 saat. Keluaran cahaya tetap stabil dalam lingkungan 3% selama 3,000 jam, dan lampu tersebut tidak menghasilkan ozon kerana adanya lapisan kuarsa yang membolehkan cahaya UV dipancarkan dengan efektif.
Mengapa cara ini berkesan dalam praktiknya
Pita pengikat direka untuk proses pengikatan yang cepat. Apabila spektrum cahaya lampu sesuai dengan kadar penyerapan fotoinisator, permukaan wafer akan kering dengan cepat, sementara bahagian pelekatnya tetap utuh. Ini membolehkan pita tersebut dilepaskan dengan mudah, tanpa pecah. Kelebihannya ialah masa pengeluaran yang lebih cepat: masa kitaran berkurangan daripada 30 saat kepada kurang dari 10 saat, tanpa tekanan termal pada struktur film tipis. Hasilnya ialah daya pelepasan yang konsisten, jumlah produk gagal yang lebih sedikit, serta waktu penggantian lampu yang sesuai dengan jadual penyelenggaraan.
Butiran yang perlu diperhatikan
Penyelarasan antara komponen-komponen harus sangat tepat. Walaupun perbezaan fokus sebanyak 2 mm saja sudah cukup untuk mengurangkan intensiti cahaya separuh. Gunakan alat pengukur radiasi di sepanjang garisan pengeluaran untuk mengukur dos cahaya pada substrat, bukan hanya kuasa lampu sahaja. Lampu tersebut beroperasi pada beban termal yang rendah, namun lampu tersebut masih memerlukan sistem penyejukkan udara untuk mengekalkan suhu reflektor pada tahap yang stabil. Rancanglah integrasi kawalan pada 24 V, dan pastikan kompatibiliti konektor dengan peralatan pengendalian yang digunakan.