Di permukaan lantai, bahagian hujung lampu UV yang berwarna gelap itu bukan sekadar masalah kosmetik semata-mata. Ia merupakan petunjuk penting. Setiap kali lampu dihidupkan atau dimatikan dengan cepat, elektrodnya akan rosak. Jika balast yang digunakan tidak diset dengan betul, output spektrum lampu akan terganggu. Akibatnya, output pada panjang gelombang 365nm akan berubah-ubah, toleransi dos yang diperlukan untuk fotoresist juga akan berubah, dan kualiti hasil pemprosesan juga akan menurun.
Apa yang benar-benar penting ialah tenaga yang disalurkan ke permukaan substrat, bukan kuasa yang tertera pada label lampu tersebut. Kami menggunakan lampu galium iodida yang diset agar menghasilkan cahaya pada panjang gelombang 365nm yang tepat – iaitu panjang gelombang yang paling sesuai untuk proses fotoinisasi pada fotoresist. Intensiti cahaya di permukaan substrat tetap pada tahap ≥1200 mW/cm², dan ketepatan dos yang dihasilkan tetap dalam julat ±3% sepanjang hayat lampu tersebut. Tiub kuarsa dan reflektor berlapis dikromat membantu mengawal sinaran IR dan UV yang berlebihan, sehingga suhu tetap rendah dan taburan spektrum tetap konsisten. Dalam praktiknya, ini bermakna proses pengikatan antara komponen-komponen berlaku lebih cepat, masa pendedahan menjadi lebih singkat, dan proses pemprosesan dapat dilakukan dengan lebih efisien.
Inilah sebabnya mengapa lampu jenis ini berkesan dalam proses pemprosesan fotoresist: bahagian hujung lampu yang berwarna gelap akan menjadi semakin teruk apabila lampu dihidupkan dan dimatikan berulang kali, serta apabila balast yang digunakan tidak mampu mengurangkan lonjakan arus semasa lampu dihidupkan. Kami menggunakan balast yang sesuai untuk memastikan proses pemanasan lampu berjalan secara terkawal, sehingga elektrodnya tetap utuh. Kelebihannya ialah bilangan penggantian lampu menjadi lebih sedikit, kelajuan proses pemprosesan tetap stabil, dan penggunaan tenaga juga berkurangan.
Beberapa perkara penting yang perlu dipertimbangkan: lampu galium iodida memerlukan voltan yang tepat serta sistem pengawalan arus yang stabil agar panjang gelombang 365nm dapat dikekalkan dengan stabil. Lampu ini tidak boleh digunakan secara langsung menggantikan lampu merkuri yang digunakan sebelum ini – geometri reflektor, aliran udara untuk penyejukan, dan masa pembukaan shutter perlu diselaraskan dengan panjang gelombang cahaya dan profil haba yang dihasilkan oleh lampu tersebut. Sebelum menukar lampu, pastikan balast yang digunakan sesuai dan jarak fokal reflektor juga betul. Jika tidak, masalah bahagian hujung lampu yang berwarna gelap akan berulang lagi.