바닥에 있는 UV 램프의 어두워진 부분들은 단순히 외관상의 문제가 아닙니다. 그것은 중요한 신호입니다. 램프가 자주 켜졌다 꺼지면 전극이 손상되고, 밸라스트 설정이 적절하지 않으면 스펙트럼 출력도 변하게 됩니다. 그 결과는 예측 가능합니다: 365nm 출력의 값이 변동하고, 포토레지스트의 내성도 저하되며, 생산 효율도 떨어집니다.
실제로 중요한 것은 기판에 전달되는 에너지이지, 라벨에 표시된 와트수가 아닙니다. 우리는 좁고 일정한 365nm 파장대를 내는 갈륨 아이오디드 램프를 사용합니다. 이 파장대는 대부분의 포토레지스트 광개시제가 작동하기에 가장 적합한 파장입니다. 기판 표면에서의 최대 조사 강도는 ≥1200 mW/cm²를 유지하며, 램프의 수명 동안에도 듀스의 반복성은 ±3% 이내로 유지됩니다. 석영 아크관과 이색 코팅된 반사체 덕분에 적외선과 원치 않는 UV 광선이 차단되어 열이 적게 발생하고 스펙트럼 분포도 일정하게 유지됩니다. 실제로 이를 통해 교차결합 속도가 빨라지고, 노출 시간도 짧아지며, 공정의 안정성도 높아집니다.
포토레지스트 노출 공정에서 이 방식이 효과적인 이유는, 램프를 계속 켜고 끄는 과정에서 램프의 끝부분이 빠르게 어두워지기 때문입니다. 또한, 점화 충격을 완화해주지 못하는 인덕티브 밸라스트를 사용하면 문제가 더욱 심해집니다. 우리는 램프와 맞춤형 밸라스트를 함께 사용하여 제어된 방식으로 램프를 가열하고 전류의 급증을 방지함으로써 전극이 손상되는 것을 막습니다. 그 결과 램프 교체 횟수가 줄어들고, 경화 속도도 일정하게 유지되며, 처리당 소모되는 에너지도 줄어듭니다.
현장에서의 현실적인 문제점은, 갈륨 아이오디드 램프가 안정적인 365nm 파장을 유지하기 위해서는 적절한 점화 전압과 안정적인 전력 공급이 필요하다는 것입니다. 이 램프들은 기존의 수은 램프와 그대로 바꿔 사용할 수 없습니다. 반사체의 형태, 냉각 공기의 흐름, 셔터 타이밍 등도 아크 길이와 열 프로파일에 맞게 조정되어야 합니다. 교체하기 전에 반드시 밸라스트의 호환성과 반사체의 초점 거리를 확인해야 합니다. 그렇지 않으면 다시 램프의 끝부분이 어두워지는 문제가 발생할 것입니다.