Sul piano di lavorazione, l’orologio che misura il tempo trascorso dopo la fase di taglio dei wafer indica i secondi, non i minuti. Con l’uso della colla a base di UV, bisogna decidere se proteggere il prodotto finito o rovinarlo: se l’intensità dell’UV è troppo elevata, rimane del adesivo sul wafer; se invece è troppo bassa, il wafer si stacca. Quello che serve è una sorgente UV in grado di fornire sempre la stessa intensità e densità energetica, ciclo dopo ciclo.
Cosa è davvero importante dal punto di vista tecnico Le strisce adesive per semiconduttori richiedono fotoinizianti progettati per funzionare in determinate bande UV, solitamente 365 nm e 385 nm. Vengono utilizzate lampade con emissione a banda stretta, dotate di riflettori dicromici per evitare che l’IR a banda larga causi surriscaldamento del wafer. L’intensità di irradiazione sul substrato raggiunge i 2,5 W/cm², il che significa che vengono forniti oltre 2.000 mJ/cm² di energia per la polimerizzazione, in meno di 10 secondi. La stabilità dell’output rimane entro il 3% negli ultimi 3.000 ore di funzionamento; inoltre, la lampada non produce ozono grazie alla sua struttura in quarzo, progettata per garantire una buona trasmissione delle radiazioni UV.
Perché questo metodo funziona nella pratica Le strisce adesive sono progettate per permettere una polimerizzazione rapida. Quando lo spettro emesso dalla lampada corrisponde alla banda di assorbimento dei fotoinizianti, avviene una polimerizzazione immediata sulla superficie del wafer, mentre l’adesivo rimane intatto. In questo modo, la striscia adesiva può essere rimosa facilmente, senza danneggiare il wafer. Il vantaggio è un tempo di ciclo ridotto: da 30 secondi a meno di 10, senza alcun stress termico sulle strutture sottili. Inoltre, si ottiene una forza di separazione costante, meno prodotti difettosi e una sostituzione della lampada in modo coordinato con le procedure di manutenzione previste.
I dettagli importanti da considerare L’allineamento deve essere perfetto. Anche 2 mm di defocalizzazione possono ridurre di metà l’intensità di irradiazione effettiva. È necessario utilizzare un radiometro per misurare l’intensità di irradiazione sul substrato, e non solo la potenza della lampada. La lampada funziona a basse temperature, ma è comunque necessario un sistema di raffreddamento per mantenere costante la temperatura del riflettore; altrimenti, lo spettro emesso dalla lampada cambierebbe e la durata di vita del riflettore diminuirebbe. È inoltre necessario pianificare l’integrazione di un sistema di controllo a 24 V, e verificare attentamente la compatibilità dei connettori con l’apparecchiatura utilizzata.