Sur le plan de fabrication, l’horloge qui compte le temps écoulé après la découpe des wafer indique les secondes, et non les minutes. L’utilisation de rubans adhésifs sensibles aux rayons UV permet soit de protéger la qualité du produit final, soit de le gâcher : trop de durcissement laisse du résidu d’adhésif ; trop peu, et les morceaux de wafer se détachent. Ce qu’il faut, c’est une source UV capable de produire constamment la même intensité spectrale et densité énergétique, cycle après cycle.
Ce qui est vraiment important sur le plan technique Les rubans adhésifs pour semi-conducteurs reposent sur des photoinitiateurs adaptés à des bandes UV spécifiques, généralement 365 nm et 385 nm. Nous utilisons des lampes à émission étroite, avec des réflecteurs dichroïques pour éviter que les rayons infrarouges ne provoquent une surchauffe du wafer. L’intensité maximale d’émission au niveau du substrat atteint 2,5 W/cm², ce qui correspond à plus de 2 000 mJ/cm² d’énergie de durcissement en moins de 10 secondes. La stabilité de l’émission reste dans les 3 % sur 3 000 heures. De plus, la lampe ne produit pas d’ozono, grâce à son enveloppe en quartz conçue pour une excellente transmission des rayons UV.
Pourquoi cela fonctionne en pratique Les rubans adhésifs sont conçus pour un durcissement rapide. Lorsque le spectre de la lampe correspond à celui des photoinitiateurs, le durcissement de la surface s’effectue instantanément, tandis que l’adhésif reste intact. Ainsi, le ruban peut être retiré en un seul morceau. Le résultat est un temps de traitement plus rapide : le temps de cycle passe de 30 secondes à moins de 10 secondes, sans aucune contrainte thermique pour les structures en films minces. On obtient ainsi une force de décollement constante, moins de produits rejetés, et un remplacement de la lampe coordonné avec les interventions de maintenance prévues.
Les détails importants L’alignement doit être parfait. Même 2 mm de défocus peuvent réduire l’intensité d’émission de moitié. Il est donc nécessaire d’utiliser un radiomètre pour mesurer la dose reçue par le substrat, et non seulement la puissance de la lampe.
La lampe fonctionne à faible charge thermique, mais le support nécessite néanmoins un refroidissement forcé afin de maintenir une température constante du réflecteur. Sinon, la constance du spectre diminue et la durée de vie du réflecteur se raccourcit. Prévoyez une alimentation en 24 V, et vérifiez bien la compatibilité des connecteurs avec votre équipement.