
در کارخانههای تولید، ساعت مربوط به فرآیند برش ویفرها، زمان را در واحد ثانیه اندازهگیری میکند، نه دقیقه. در فرآیند جدا کردن نوارهای چسبنده با استفاده از نور UV، یا باید از کیفیت محصول محافظت کرد یا آن را از بین برد؛ اگر مقدار نور UV بیش از حد باشد، چسب باقی میماند؛ اما اگر کم باشد، تکههای ویفر جدا میشوند. آنچه لازم است، منبع نور UVی باشد که بتواند هر بار همان تراز نوری و چگالی انرژی را تولید کند.
آنچه از نظر فنی اهمیت دارد: نوارهای نیمههادی برای عملکرد صحیح، به فوتواینیشیاتورهایی نیاز دارند که در باندهای نوری خاصی، معمولاً ۳۶۵ نانومتر و ۳۸۵ نانومتر، تنظیم شده باشند. ما از لامپهایی با تابش نوری محدود استفاده میکنیم؛ همچنین از بازتابندههای دوکرویک برای جلوگیری از ورود گرما به ویفر استفاده میکنیم. حداکثر شدت نور در سطح ویفر، ۲.۵ وات بر سانتیمتر مربع است؛ این مقدار، بیش از ۲٬۰۰۰ میلیجول بر سانتیمتر مربع انرژی برای تخریب چسب در کمتر از ۱۰ ثانیه فراهم میکند. پایداری خروجی نور، در طول ۳٬۰۰۰ ساعت، حدود ۳٪ است؛ همچنین لامپ، به دلیل استفاده از غلاف کوارتزی، عاری از ازون است.
چرا این روش در عمل مؤثر است: نوارهای برش، برای اتصال سریع اجزای ویفر طراحی شدهاند. وقتی که طیف نور لامپ با طیف جذب فوتواینیشیاتور هماهنگ شود، سطح ویفر به سرعت تخریب میشود، در حالی که چسب در کلیه بخشهای ویفر حفظ میشود؛ در نتیجه، نوار به راحتی جدا میشود. این روش باعث افزایش سرعت تولید میشود؛ زمان لازم برای انجام فرآیند، از ۳۰ ثانیه به کمتر از ۱۰ ثانیه کاهش مییابد؛ همچنین، فشار حرارتی بر ساختارهای نازک وجود ندارد. در نتیجه، نیروی جداشدن نوار یکنواخت خواهد بود، تعداد محصولات باکیفیت کمتر خواهد بود، و تعویض لامپ نیز مطابق با برنامههای تعمیراتی انجام خواهد شد.
جزئیاتی که باید مورد توجه قرار گیرند: برای عملکرد صحیح، تطابق دقیق بین طیف نور لامپ و فوتواینیشیاتور ضروری است؛ حتی ۲ میلیمتر انحراف، میتواند شدت نور را نصف کند. باید از رادیومتر برای اندازهگیری شدت نور در سطح ویفر استفاده کرد، نه فقط قدرت لامپ. لامپ در بار حرارتی پایین کار میکند، اما همچنان نیاز به سیستم خنککننده برای حفظ دمای بازتابنده وجود دارد؛ در غیر این صورت، پایداری طیف نور کاهش مییابد و عمر بازتابنده نیز کوتاه میشود. باید از سیستم کنترل ۲۴ ولتی استفاده کرد، و همچنین سازگاری کانکتورها با دستگاههای مربوطه را بررسی کرد.