ওয়েফার কাটার পর, সেখানকার ঘড়িটি মিনিট নয়, বরং সেকেন্ডে সময় গণনা করে। UV-টেপ ব্যবহার করে অ্যাডহেসিভটিকে আলাদা করা হয়; এখানে হয় অ্যাডহেসিভটিকে সংরক্ষণ করা যায়, নয়তো এটিকে ফেলে দেওয়া হয়। অতিরিক্ত UV-রশ্মি থাকলে অ্যাডহেসিভটি অবশিষ্ট থেকে যায়; আবার কম UV-রশ্মি থাকলে চিপগুলো ছিটকে যায়। এখানে প্রয়োজন হয় এমন একটি UV সোর্স, যা প্রতিবারই একই ধরনের স্পেকট্রাল আউটপুট ও এনার্জি ডেনসিটি সরবরাহ করতে পারে।
প্রযুক্তিগতভাবে কী গুরুত্বপূর্ণ?
সেমিকন্ডাক্টর টেপগুলো নির্দিষ্ট UV-ব্যান্ডে কাজ করে; সাধারণত 365 ন্যানোমিটার ও 385 ন্যানোমিটার। আমরা সংকীর্ণ-ব্যান্ড নির্গমনযুক্ত ল্যাম্প ব্যবহার করি; ডাইক্রোইক রিফ্লেক্টর ব্যবহার করে ব্রডব্যান্ড IR-রশ্মিগুলোকে ওয়েফারে প্রবেশ করতে বাধা দেওয়া হয়। সাবস্ট্রেটের উপরিভাগে রশ্মির তীব্রতা 2.5 ওয়াট/সেমি² হয়; ফলে 10 সেকেন্ডেরও কম সময়ে 2,000 মিলিজুল/সেমি² এনার্জি পাওয়া যায়। 3,000 ঘণ্টা ধরে আউটপুটটি 3% এর মধ্যেই থাকে; আর কোয়ার্টজ এনভেলাপ ব্যবহার করার ফলে ল্যাম্পটি ওজন-মুক্ত থাকে।
বাস্তবে এটি কেন কাজ করে?
ডাইসিং টেপগুলো দ্রুত ক্রস-লিঙ্কিংয়ের জন্য ডিজাইন করা হয়েছে। যখন ল্যাম্পের স্পেকট্রাম ফটোইনিশিয়েটরের অবশোষণ ক্ষমতার সাথে মিলে যায়, তখন সাবস্ট্রেটের পৃষ্ঠে তৎক্ষণাৎ কিউরিং ঘটে; ফলে টেপটি অক্ষত অবস্থায় ছিঁড়ে যায়। এর ফলে কাজের গতি বাড়ে; সাইকেল টাইম 30 সেকেন্ড থেকে 10 সেকেন্ডের নিচে নেমে যায়। এছাড়া, পাতলা-ফিল্ম কাঠামোগুলোতে কোনো থার্মাল স্ট্রেস নেই। ফলে সামঞ্জস্যপূর্ণ পিলিং ফোর্স পাওয়া যায়, রিজেক্টেড পণ্যের পরিমাণ কমে যায়; আর ল্যাম্প প্রতিস্থাপনও নির্ধারিত সময়েই হয়।
কোন বিষয়গুলো গুরুত্বপূর্ণ?
অ্যালাইনমেন্টটি অবশ্যই নির্ভুল হতে হবে। 2 মিমি এর মতো ভুল অ্যালাইনমেন্টই কার্যকর রশ্মির তীব্রতাকে অর্ধেক করে দেয়। লাইনে রেডিয়োমিটার ব্যবহার করে সাবস্ট্রেটে রশ্মির মাত্রা পরিমাপ করা উচিত; শুধুমাত্র ল্যাম্পের শক্তি নয়।
ল্যাম্পটি কম থার্মাল লোডে কাজ করে; কিন্তু রিফ্লেক্টরের তাপমাত্রা স্থিতিশীল রাখতে ফোর্সড এয়ার কুলিং প্রয়োজন। নইলে স্পেকট্রাল সামঞ্জস্য নষ্ট হয়ে যায় এবং রিফ্লেক্টরের জীবনকালও কমে যায়। 24 ভোল্ট কন্ট্রোল সিস্টেম ব্যবহার করা উচিত; আর হ্যান্ডলারের সাথে কানেক্টরের সামঞ্জস্যও যাচাই করা উচিত।