
في مصنع تصنيع الرقائق، يعمل الساعة الموجودة هناك على قياس الوقت بالثواني، وليس بالدقائق. عملية فك الالتصاق باستخدام اللصقات الفوق بنفسجية تتطلب حذرًا شديدًا؛ فإذا كانت كمية الأشعة فوق البنفسجية كبيرة جدًا، فإن ذلك سيؤدي إلى بقاء مادة لاصقة على سطح الرقاقة، أما إذا كانت الكمية قليلة جدًا، فإن ذلك سيؤدي إلى انفصال الرقاقة عن اللصقة. ما نحتاجه هو مصدر أشعة فوق بنفسجية يوفر نفس الخصائص الطيفية وكثافة الطاقة في كل دورة.
ما هو مهم من الناحية التقنية تعتمد اللصقات المستخدمة في تصنيع الرقائق على مواد محفزة للتفاعل تحت أشعة فوق بنفسجية، وعادةً ما تكون هذه المواد في نطاقي الطول الموجي 365 نانومتر و385 نانومتر. نستخدم مصابيح ذات إشعاع ضيق النطاق، مع استخدام مرايا ثنائية اللون لمنع تسرب الحرارة إلى الرقاقة. تصل الطاقة الإشعاعية على سطح الرقاقة إلى 2.5 واط/سم²، مما يعني أن كمية الطاقة المستخدمة في عملية التصليد تصل إلى أكثر من 2,000 ميجاجول/سم² في أقل من 10 ثوانٍ. تظل درجة الاستقرار في الإشعاع ضمن حدود 3% خلال 3,000 ساعة، كما أن المصباح لا ينتج أي أوزون بفضل الغلاف الكوارتزي الذي يسمح بمرور الأشعة فوق البنفسجية بشكل فعال.
لماذا ينجح هذا النظام في الممارسة العملية تم تصميم اللصقات المستخدمة في تصنيع الرقائق لتسريع عملية التصليد. عندما يتطابق طيف الضوء الصادر من المصباح مع طيف الاستشعار لدى المواد المحفزة، فإن ذلك يؤدي إلى تصليد سطح الرقاقة بسرعة، بينما تظل المادة اللاصقة سليمة، وبالتالي يمكن فصل اللصقة عن الرقاقة بسهولة. النتيجة هي تسريع وتيرة الإنتاج، حيث ينخفض وقت العملية من 30 ثانية إلى أقل من 10 ثوانٍ، دون أن يؤثر ذلك على الهياكل رقيقة السمك. كما أن ذلك يؤدي إلى قوة فصل موحدة، وانخفاض عدد الرقائق التالفة، بالإضافة إلى استبدال المصابيح في الوقت المناسب خلال عمليات الصيانة المخطط لها.
التفاصيل الهامة التي يجب الانتباه إليها يجب أن يكون التوجيه دقيقًا للغاية؛ فحتى 2 مم من عدم الدقة في التوجيه قد يقلل من فعالية الإشعاع بنسبة 50%. يجب استخدام جهاز قياس لقياس مستوى الإشعاع على سطح الرقاقة، وليس فقط قوة المصباح. يعمل المصباح بحمل حراري منخفض، لكن لا يزال يحتاج إلى تبريد بالهواء для الحفاظ على درجة حرارة المرايا ثابتة؛ وإلا فإن الاستقرار الطيفي سيتأثر، وبالتالي تقل عمر المرايا. يجب التخطيط لاستخدام نظام تحكم بجهد 24 فولت، كما يجب التأكد من توافق الموصلات مع أجهزة التحكم المستخدمة.